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（文/觀察者網 一鳴）4月6日，DigiTimes報導稱，三星3nm工藝量產時間可能已經延期至2022年。 據報導，三星原計劃在2021年初量產3nm，但新冠疫情蔓延，使得這一計劃不得不延期一年。報導援引人士指出，這並非工藝製造上的延遲，而是因為極紫外EUV光刻機等關鍵設備在物流上出現了問題。 上述媒體指出，當前疫情對物流和交通運輸服務造成了影響，導致3nm工藝所需的EUV光刻機和其他關鍵生產設備的交付延期，進而導致了量產的時間推遲。 三星早在去年就宣布將在3nm節點放棄鰭式場效電晶體（FinFET），轉向環繞柵極電晶體（GAAFET）工藝，3nm GAE工藝號稱可將核心面積減少45%，功耗降低50%，性能提升35%。 ... 推遲3nm工藝生產的還不止三星一家，三星最大對手臺積電也因為疫情的影響，導致半導體設備安裝無法按期完成，使得原計劃在今年6月份風險試產的3nm FinFET工藝，推遲到了10月。 而相對應的，臺積電南科18廠的3nm生產線的完工也將順延一個季度，這也讓原本10月份安裝設備的計劃推遲到了2021年初。 作為目前全球最先進EUV光刻機的唯一供應商，荷蘭阿斯麥爾（ASML）此前下調了今年一季度的業績預期，由2019年第四季度及全年的業績報告中預計的31億歐元到33億歐元之間，下調到了23億歐元至24億歐元之間。 阿斯麥爾稱，調整今年一季度的業績預期，主要還是受當前疫情的影響，影響主要體現在三個方面。一是部分光刻機的出貨延遲，導致相應收入確認延遲；二是供應鏈在一季度出現了問題、三是部分廠商對他們的交付能力存在擔憂，為了加快交付進度，部分廠商甚至要求他們在完成正常的工廠驗收之前就交付。 雖然下調了一季度的營收預期，但阿斯麥爾的總裁兼CEO彼得·溫寧克（Peter Wennink）表示，當前疫情對他們製造能力造成的影響還比較有限，到目前為止，他們還沒有看到今年光刻機需求下滑的跡象。 三星和臺積電都訂購了阿斯麥爾的EUV光刻機。2018年5月，中芯國際也向荷蘭阿斯麥爾（ASML）訂購了一臺最新型的EUV光刻機，價值高達1.5億美元，原計劃在2019年初交付。 不過，由於美國方面阻擾，這項交易至今仍未完成。 本文系觀察者網獨家稿件，未經授權，不得轉載。
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